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太陽能硅片用電火花線切割與金剛石線切割機效果、效率比較
發(fā)布時間：2014-08-23 點擊次數(shù)：6061次
前面我們介紹過電火花線切割與金剛石線切割機的比較了，有興趣的朋友可點擊查看《電火花線切割機與金剛石線切割機哪個好》，這里又再寫這么一篇帖子，單純的是想把兩種不同方法切割的結(jié)果做個解說。
以我公司的立式數(shù)控金剛石線切割機切割的多晶硅為例。
被切割材料：太陽能多晶硅晶體。
規(guī)格尺寸為：145mm×126mm。
加工條件：線切割切削液
切割設(shè)備：CHSX5630-XL金剛石線切割機
加工詳情：一共切了三片，片加工速度慢，第二片速度加快，第三片速度快。記錄下切割的時間和檢測被加工多晶硅表面的平面度精度情況。
編號為1的多晶硅片，為切割的片，切割時間慢，耗時1個小時。效率達到18270mm²/小時?？床怀鼍€痕，摸起來很光滑，類似磨床磨出來的效果。
編號為2的多晶硅片，為切割的第二片，切割時間耗時45分鐘。測量結(jié)果：薄處為3.44mm，厚處為3.47mm，表面平整度.03mm。表面效果看起來跟電火花線切割機床切割的多晶硅表面差不多，肉眼能看到線痕，但比電火花線切割的粗糙度更好一些。
編號為3的多晶硅片是第三片，切割時間為30分鐘。可以明顯看出金剛石線痕。檢測結(jié)果薄處厚度為4.90mm，厚處為4.95mm，表面平整度.05mm。
圖為電火花線切割機床切割的單晶硅
試驗結(jié)果：電火花線切割機床切割多晶硅的加工效率為5000mm²/小時，用金剛石線切割機床切割多晶硅的效率快可達30000mm²/小時。
